Мембранные контакторы 3M™ Liqui-Cel™ для производства полупроводников и микроэлектроники

По мере того, как в производстве полупроводников, плоских дисплеев и в других высокотехнологичных отраслях переходят на меньший размер пикселя, больший размер плат и передовые технологии отображения, контроль уровня растворенного газа становится критически важным фактором в производстве качественной сверхчистой воды для полупроводниковой промышленности и микроэлектроники.

Благодаря своей эффективности, удобству и высокой производительности удаления газа мембранные контакторы 3M™ Liqui-Cel™ признаны лучшими устройствами для дегазации в системах очистки воды, используемых при производстве полупроводников и плоских дисплеев. Мембранные контакторы обладают низким содержанием экстрагируемых веществ и не ухудшают качество воды. Благодаря уникальной конструкции они удаляют кислород из воды до уровня менее 1 мкг/л, а растворенный углекислый газ - до уровня 0,5 мг/л. Низкие уровни растворенного кислорода обеспечивают требуемый объем выпуска продукции, в то время как низкое содержание углекислого газа помогает добиться максимальной эффективности электродеионизации и других ионообменных процессов.

В отличие от обычных вакуумных деаэраторов системы мембранных контакторов можно масштабировать. По мере появления требований к увеличению производительности или снижению допустимого уровня растворенного газа в систему можно добавить дополнительные контакторы.

Мембранные контакторы 3M™ Liqui-Cel™ также обеспечивают низкие концентрации и точно контролируют уровни растворенных газов в сверхчистой воде и других совместимых жидкостях, используемых в различных технологических процессах.